北方华创申请半导体工艺腔室及托盘组件专利,定位托盘卡托使其可与托盘组件连接或分离
2天前
金融界2025年7月19日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及托盘组件”的专利,公开号 CN120341167A,申请日期为 2024年07月。 专利摘要显示,本申请公开了一种半导体工艺腔室及托盘组件,属于半导体加工技术领域。半...
公司
华创微电子 >
扫描二维码
打开风潮公众号
风潮资讯群
添加客服获取进群机会