屹唐股份张文冬:深耕晶圆加工设备 赋能全球芯片制造
2天前
张文冬表示,通过自主研发,屹唐股份拥有双晶圆真空反应腔设计、双晶圆反应腔真空整合传输设备平台设计、电感耦合远程等离子体源设计、远程等离子体源电荷过滤装置、晶圆双面辐射加热快速热退火技术、晶圆表面局部温度均匀度调节技术等核心技术。 截至2025年2月11日,屹...
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