拓荆科技是一家半导体薄膜生产设备研发商,专注于半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成晶圆制造三大设备,同时提供产业化应用的集成电路PECVD、SACVD设备。
轮次 | 金额 | 投资时间 | 机构 | |
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IPO | 22.73亿人民币 | 2022-04-20 | 公开发行 | 公开发行 |
定向增发 | 未披露 | 2021-01-12 | 国科控股 | 国科控股 |
C轮 | 未披露 | 2019-12-27 | 兴橙资本 中合盛资本 | 兴橙资本 中合盛资本 |
B++轮 | 未披露 | 2019-07-12 | 临芯投资 | 临芯投资 |
B+轮 | 未披露 | 2019-06-20 | 中微公司 浑璞投资 | 中微公司 浑璞投资 |
B轮 | 未披露 | 2017-08-09 | 中车资本 国投创业 | 中车资本 国投创业 |
A轮 | 未披露 | 2015-11-17 | 华芯投资 中芯聚源 国家集成电路产业投资基金 | 华芯投资 中芯聚源 国家集成电路产业投资基金 |
天使轮 | 未披露 | 2014-05-30 | 沈阳科投 信息基金 港航基金 | 沈阳科投 信息基金 港航基金 |
种子轮 | 未披露 | 2010-05-21 | 中科仪 | 中科仪 |