鲁汶仪器是一家半导体设备供应商,主要从事半导体研发、生产、材料检测等精密设备及配套技术服务,面向大学实验室、研究所及半导体等行业提供反应离子刻蚀机、感应耦合等离子体刻蚀机、离子束刻蚀机等设备。
轮次 | 金额 | 投资时间 | 机构 | |
---|---|---|---|---|
E+轮 | 未披露 | 2022-12-30 | 物产中大投资 十月资本 海富产业基金 骆驼基金 太和投资 方信资本 联通中金 建信信托投资 冯源资本 | 物产中大投资 十月资本 海富产业基金 骆驼基金 太和投资 方信资本 联通中金 建信信托投资 冯源资本 |
E轮 | 未披露 | 2022-03-01 | 新鼎资本 中芯聚源 金连川基金 中芯熙诚 金浦投资 亦庄控股 乐融资本 腾鼎资产 汇瑾资本 | 新鼎资本 中芯聚源 金连川基金 中芯熙诚 金浦投资 亦庄控股 乐融资本 腾鼎资产 汇瑾资本 |
D轮 | 未披露 | 2021-05-08 | 亦庄国投 中科院创投 博达股权投资 长江资本 乾瞻投资 舜宇光学 中科微投资 广州开发区产业基金 相融资本 | 亦庄国投 中科院创投 博达股权投资 长江资本 乾瞻投资 舜宇光学 中科微投资 广州开发区产业基金 相融资本 |
C轮 | 未披露 | 2021-04-16 | 中科创星 | 中科创星 |
B+轮 | 未披露 | 2020-10-30 | 新微资本 北京明智大方 明智资本 | 新微资本 北京明智大方 明智资本 |
B轮 | 过亿人民币 | 2020-04-21 | 中冀投资 中科创星 祥晖资本 汉唐周 北京集成电路尖端芯片基金 中域资本 红星美凯龙 中杰投资 | 中冀投资 中科创星 祥晖资本 汉唐周 北京集成电路尖端芯片基金 中域资本 红星美凯龙 中杰投资 |
A+轮 | 未披露 | 2019-09-02 | 金浦投资 建信股权 | 金浦投资 建信股权 |
A轮 | 未披露 | 2018-10-12 | 浑璞投资 | 浑璞投资 |
天使轮 | 未披露 | 2016-07-11 | 博硕股权投资 中科院微电子 | 博硕股权投资 中科院微电子 |