北京华卓精科科技股份有限公司主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。公司长期专注于纳米级超精密测控技术,是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商,致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。公司以光刻机双工件台为核心,并以该产品的超精密测控技术为基础,开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品,以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品。公司主要从事光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产及销售和技术服务,通过向下游集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C制造等行业内公司销售包括光刻机双工件台在内的超精密测控装备整机及部件,并根据客户在精密度等方面的具体需求提供相应的技术开发服务。
轮次 | 金额 | 投资时间 | 机构 | |
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F轮 | 未披露 | 2019-03-21 | 国家集成电路产业投资基金 中丽基金 祥晖资本 | 国家集成电路产业投资基金 中丽基金 祥晖资本 |
股权投资 | 未披露 | 2019-03-21 | 祥晖资本 国家集成电路产业投资基金 中丽基金 | 祥晖资本 国家集成电路产业投资基金 中丽基金 |
D+轮 | 7587.5万人民币 | 2018-11-05 | 浑璞投资 红星美凯龙 | 浑璞投资 红星美凯龙 |
D轮 | 8700万人民币 | 2018-10-12 | 浑璞投资 红星美凯龙 中金公司 | 浑璞投资 红星美凯龙 中金公司 |
B+轮 | 未披露 | 2017-11-29 | 大华大陆投资 | 大华大陆投资 |
B轮 | 3282.87万人民币 | 2017-07-04 | 在册股东 大华大陆投资 中金公司 清研华阳 | 在册股东 大华大陆投资 中金公司 清研华阳 |
新三板 | 未披露 | 2015-12-11 | ||
A轮 | 500万人民币 | 2015-05-19 | 中海投资 中关村海淀园创业服务中心 | 中海投资 中关村海淀园创业服务中心 |
天使轮 | 未披露 | 2012-09-21 | 水木创投 | 水木创投 |
种子轮 | 未披露 | 2010-03-01 | 君盛投资 | 君盛投资 |